超高真空全自動常溫鍵合機-公開招標公告
發(fā)布時間：2025-11-06 22:40:49 打印
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超高真空全自動常溫鍵合機項目已具備招標條件，招標項目資金已落實。中科信工程咨詢（北京）有限責任公司（招標代理機構）受中國航空工業(yè)集團公司西安飛行自動控制研究所（招標人）的委托，對該項目進行國際公開招標采購。
1. 招標范圍
1.1 貨物名稱：超高真空全自動常溫鍵合機
1.2 招標編號：0779-25400341A049
1.3項目概況：
超高真空全自動常溫鍵合機用于量子傳感、硅光、MEMS等芯片的晶圓級密封封裝工藝，在超高真空環(huán)境中利用高速氬原子或離子轟擊晶圓，除去表面氧化膜及污染物，再施加一定壓力，使兩個表面在超高真空環(huán)境中緊密接觸，形成化學鍵，實現(xiàn)原子尺度上的牢固結合，在室溫下實現(xiàn)良好的鍵合，無需后續(xù)退火，消除熱膨脹系數(shù)不匹配造成的熱應力問題；更多指標詳見第八章技術規(guī)格。
關鍵技術參數(shù)：
適用于6英寸晶圓，并可擴展至8英寸；
Mark鍵合對準精度：≤±2μm；
鍵合模塊壓力：最大100kN；
更多技術指標詳見第八章。
1.4 數(shù)量：1臺。
1.5 交貨期：合同簽訂生效后10個月內(nèi)交貨。
1.6 項目現(xiàn)場：中國航空工業(yè)集團公司西安飛行自動控制研究所指定地點。
2. 對投標人的資格要求
2.1 投標人必須是響應招標的法人或其他組織，具有獨立承擔民事責任能力。
2.2本次招標接受代理商投標，代理商必須獲得制造商的合法授權，提供制造商授權書。授權書包括制造商直接開具的；或制造商的獨資公司開具的（同時須提供制造商與獨資子公司的關系說明，并由雙方簽字或者蓋章）。
2.3本項目不接受聯(lián)合體投標。
2.4投標人必須向招標代理機構購買招標文件并進行登記才具有投標資格。
3. 招標文件獲取
3.1凡有意參加投標者，請于2025年11月6日至2025年10月14日17時(北京時間)，登錄中航工業(yè)電子采購平臺（www.eavic.com）上傳匯款底單和下載招標文件,現(xiàn)場不予受理。如有疑問，請致電中航工業(yè)電子采購平臺服務熱線400-890-0880。
3.2 招標文件售價人民幣800元或112美元，售后款項不予退還。潛在投標人應通過本鏈接:jskp.jss.com.cn/k.action?kpdm=5QCPZT&jh=888支付招標文件費用，支付后請自行提交電子發(fā)票申請(需再次進入鏈接點擊消費記錄后填寫開票信息)，電子發(fā)票將自動發(fā)送至申請時所填郵箱。潛在投標人將付款憑證（形式不限）和發(fā)票上傳交易平臺，經(jīng)招標人(代理機構)確認后，才能獲得招標文件的下載權限。
3.3 投標人必須在中航工業(yè)電子采購平臺注冊，辦理CA數(shù)字證書與電子簽章，否則無法投標。（詳見中航工業(yè)電子采購平臺相關說明）。
4. 投標文件的遞交
4.1投標文件遞交的截止時間（投標截止時間，下同）為2025年11月27日9時00分（北京時間），投標人應在截止時間前通過中航工業(yè)電子采購平臺（www.eavic.com）上傳加密的電子版投標文件，并在此時間前遞交單獨密封的紙質(zhì)版投標文件至陜西省西安市高新區(qū)錦業(yè)一路19號西安亞丁灣羽安酒店會議室。
4.2逾期送達的投標文件，中航工業(yè)電子采購平臺將予以拒收。
4.3投標人未按要求上傳加密電子版投標文件，或平臺軟件無法獲取、解密投標人上傳的電子版投標文件，招標人不予受理。
5. 開標
開標時間同投標文件遞交的截止時間，開標地點同投標文件遞交地點。
6. 發(fā)布公告的媒介
本次招標公告同時在中航工業(yè)電子采購平臺、中國國際招標網(wǎng)、中國招標投標公共服務平臺和中招聯(lián)合招標采購平臺上發(fā)布。
7. 聯(lián)系方式
招標人名稱：中國航空工業(yè)集團公司西安飛行自動控制研究所
地址：陜西省西安市高新區(qū)錦業(yè)路129號
聯(lián)系人：任經(jīng)理
電話：029-61886363
招標代理機構名稱：中科信工程咨詢（北京）有限責任公司
地址：北京市海淀區(qū)金溝河路與采石北路十字路口東南角88號大樓
郵編： 100039
聯(lián)系人：郗女士
電話： 029-89249895
項目負責人：王瑋
電話：029-89249161、029-89248368
傳真：010-88529153
電子郵件：zhaobiaobu@zonkex.com
2025年11月6日
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